DEVICE FOR STORING CONTAMINATION-SENSITIVE, FLAT ARTICLES, ESPECIALLY FOR STORING SEMICONDUCTOR WAFERS

摘要

Eine Vorrichtung zum Lagern von kontaminationsempfindlichen, plattenförmigen Gegenständen, insbesondere zum Lagern von Halbleiterwafern (20), besitzt eine Vielzahl von zumindest teilweise über einander angeordneten Trägerkörpern (18) zum Aufnehmen der Gegenstände. Jeder Trägerkörper besitzt eine Vielzahl schlitzförmiger Aufnahmen, in die die Gegenstände vertikal oder horizontal ausgerichtet eingesetzt werden können. Eine Handlingeinheit (82) dient zum automatisierten Einsetzen und Entnehmen eines plattenförmigen Gegenstandes in die bzw. aus den Trägerkörpern (18). Gemäß einem Aspekt der Erfindung sind die Trägerkörper (81) zumindest einseitig offene, kastenartige Elemente, in denen die Gegenstände raumfest gelagert sind. Des Weiteren ist eine Umhäusung vorgesehen, die einen gemeinsamen Reinraum für die Vielzahl der Trägerkörper und die Handlingeinheit bildet.