发明名称 非易失存储器及其制造方法
摘要 一种非易失存储器,包括基底、一层导体层、一层电荷储存层、多个第一掺杂区及多个第二掺杂区。其中,基底中具有多个沟渠,导体层设置于基底上,并填满沟渠。电荷储存层设置于导体层与基底之间。多个第一掺杂区分别设置于各沟渠两侧的基底中,且两个沟渠之间的两个第一掺杂区互不接触。多个第二掺杂区分别设置于这些沟渠下方的基底中。
申请公布号 CN1953183A 申请公布日期 2007.04.25
申请号 CN200510109544.2 申请日期 2005.10.21
申请人 旺宏电子股份有限公司 发明人 吴昭谊
分类号 H01L27/105(2006.01);H01L27/115(2006.01);H01L29/78(2006.01);H01L21/8239(2006.01);H01L21/8247(2006.01);H01L21/336(2006.01) 主分类号 H01L27/105(2006.01)
代理机构 北京连和连知识产权代理有限公司 代理人 包红健
主权项 1.一种非易失存储器,其特征是包括:基底,该基底中具有多个沟渠;导体层,设置于该基底上,并填满该沟渠;电荷储存层,设置于该导体层与该基底之间;多个第一掺杂区,分别设置于各该沟渠两侧的该基底中,且两个沟渠之间的两个第一掺杂区互不接触;以及多个第二掺杂区,分别设置于上述这些沟渠下方的该基底中。
地址 台湾省新竹科学工业园区力行路16号