发明名称 |
非易失存储器及其制造方法 |
摘要 |
一种非易失存储器,包括基底、一层导体层、一层电荷储存层、多个第一掺杂区及多个第二掺杂区。其中,基底中具有多个沟渠,导体层设置于基底上,并填满沟渠。电荷储存层设置于导体层与基底之间。多个第一掺杂区分别设置于各沟渠两侧的基底中,且两个沟渠之间的两个第一掺杂区互不接触。多个第二掺杂区分别设置于这些沟渠下方的基底中。 |
申请公布号 |
CN1953183A |
申请公布日期 |
2007.04.25 |
申请号 |
CN200510109544.2 |
申请日期 |
2005.10.21 |
申请人 |
旺宏电子股份有限公司 |
发明人 |
吴昭谊 |
分类号 |
H01L27/105(2006.01);H01L27/115(2006.01);H01L29/78(2006.01);H01L21/8239(2006.01);H01L21/8247(2006.01);H01L21/336(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/105(2006.01) |
代理机构 |
北京连和连知识产权代理有限公司 |
代理人 |
包红健 |
主权项 |
1.一种非易失存储器,其特征是包括:基底,该基底中具有多个沟渠;导体层,设置于该基底上,并填满该沟渠;电荷储存层,设置于该导体层与该基底之间;多个第一掺杂区,分别设置于各该沟渠两侧的该基底中,且两个沟渠之间的两个第一掺杂区互不接触;以及多个第二掺杂区,分别设置于上述这些沟渠下方的该基底中。 |
地址 |
台湾省新竹科学工业园区力行路16号 |