发明名称
摘要
申请公布号 JP3910786(B2) 申请公布日期 2007.04.25
申请号 JP20000202372 申请日期 2000.07.04
申请人 发明人
分类号 H05B3/20;H05B3/68;H01L21/02;H01L21/027;H05B3/02;H05B3/10 主分类号 H05B3/20
代理机构 代理人
主权项
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