发明名称 |
母基板分割方法、母基板划线装置及记录媒体 |
摘要 |
本发明的母基板分割方法,包含:(a)于母基板形成划线痕的步骤;(b)使母基板沿划线痕断开的步骤;该步骤(a)包含:以对母基板的紧压不中断的方式来移动对母基板的紧压,藉此来于母基板形成用来自母基板分割出第1单位基板的第1划线痕、及用来从母基板分割出第2单位基板的第2划线痕。据此,本发明提供一种用来从母基板分割出复数个单位基板的母基板分割方法。 |
申请公布号 |
CN1953857A |
申请公布日期 |
2007.04.25 |
申请号 |
CN200580015919.7 |
申请日期 |
2005.05.19 |
申请人 |
三星钻石工业股份有限公司 |
发明人 |
西尾仁孝 |
分类号 |
B28D5/00(2006.01);C03B33/037(2006.01);G02F1/13(2006.01);G02F1/1333(2006.01) |
主分类号 |
B28D5/00(2006.01) |
代理机构 |
北京中原华和知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
寿宁 |
主权项 |
1.一种母基板分割方法,是用来从母基板分割出复数个单位基板,其特征在于,包含:(a)藉划线痕形成机构于该母基板形成划线痕的步骤;以及(b)使该母基板沿划线痕断开的步骤;该步骤(a),包含以下步骤:以该划线痕形成机构对该母基板的紧压不中断的方式,使划线痕形成机构相对该母基板移动,藉此,来于该母基板形成用来从该母基板分割出至少1个单位基板的划线痕。 |
地址 |
日本大阪府 |