发明名称
摘要
申请公布号 JP3910041(B2) 申请公布日期 2007.04.25
申请号 JP20010330068 申请日期 2001.10.29
申请人 发明人
分类号 C23C16/04;H01S5/343;C23C16/34;H01L21/205;H01S5/323 主分类号 C23C16/04
代理机构 代理人
主权项
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