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发明名称 PARTICLE REMOVING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR, AND BRUSH MODULE OF THE SAME
摘要
申请公布号 KR20070043362(A) 申请公布日期 2007.04.25
申请号 KR20050099561 申请日期 2005.10.21
申请人 DONGBU ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 PARK, DAE HO
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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