Plasma processing apparatus,申请号KR20040102987-传众专利搜索

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发明名称	Plasma processing apparatus
摘要
申请公布号	KR100710597(B1)	申请公布日期	2007.04.24
申请号	KR20040102987	申请日期	2004.12.08
申请人		发明人
分类号	H01L21/3065	主分类号	H01L21/3065
代理机构		代理人
主权项
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