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经营范围
发明名称
MULTISTAGE TRANSFER EQUIPMENT AND WORKPIECE PROCESSING SYSTEM USING THE SAME
摘要
申请公布号
KR20070042415(A)
申请公布日期
2007.04.23
申请号
KR20050098316
申请日期
2005.10.18
申请人
NEW POWER PLASMA CO., LTD.
发明人
WI, SOON IM
分类号
H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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