组合掩模及制造设备和方法，有机EL装置制造设备和方法

摘要

一种组合掩模，包括多个沉积掩模，每个具有沉积缝隙阵列的沉积掩模相应于沉积图案形成；和其上沉积掩模被排列的具有多个开口的基板被提供。沉积掩模通过接合单元以可脱离的方式被保持到基板上，和用来在基板上定位沉积掩模的对准标记被形成在基板上。另外，提供了用于制造组合掩模的方法和设备，用于使用组合掩模制造有机EL装置的方法和设备，和有机EL装置。

主权项

1.一种组合掩模，包括：多个沉积掩模，每个具有沉积缝隙阵列的沉积掩模相应于沉积图案形成；和在具有多个开口的基板上沉积掩模被排列，其中所述沉积掩模被放置在所述开口的位置，每个开口的面积大于所述沉积缝隙阵列的面积，其中沉积掩模通过接合单元以可脱离的方式被保持到基板上，和其中用来在基板上定位沉积掩模的对准标记被形成在基板上。