晶体生长炉的插板阀部件

摘要

一种晶体生长炉的插板阀部件，阀盖水冷用的进出水软管通过进出水管座装在阀体内，且可随阀盖的移动而在内部运动，同时用一个连杆连接阀盖与导板，通过弹簧和顶杆使二者平面贴紧，通过手把实现阀盖的轴向启闭和水平移开。由于水冷软管内置并在内部运动，避免水管通过密封口运动带来的工作不可靠及尺寸变大。由于只用一个连杆，结构简单可靠。

主权项

1.一种用于晶体生长炉的插板阀部件，其特征在于：阀盖水冷用的进出水软管设置在阀体内部，阀盖与导板之间用一个连杆相连，并通过顶杆和弹簧实现平面贴紧。