发明名称 |
微机械振动滤波器 |
摘要 |
提供一种适应于高频波段的小型、高性能的机械振动式滤波器。通过选取使机械振子微小化的微圆柱梁(5),使机械共振频率高频化,并将多个微圆柱梁(5)排列成阵列状,在各微圆柱梁(5)的周围以预定的间隙配置共用检测电极(6)来抑制输出信号下降。另外,通过限制一部分机械振子的振动,能够观测并消除从输入信号到输出信号的伴随直接电磁耦合的噪声成分。 |
申请公布号 |
CN1311586C |
申请公布日期 |
2007.04.18 |
申请号 |
CN03800411.9 |
申请日期 |
2003.01.31 |
申请人 |
松下电器产业株式会社 |
发明人 |
中村邦彦;中西淑人 |
分类号 |
H01P1/20(2006.01);H03H5/12(2006.01);H03H7/12(2006.01);H03H9/00(2006.01);B06B1/02(2006.01) |
主分类号 |
H01P1/20(2006.01) |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
杨凯;王忠忠 |
主权项 |
1.一种微机械振动滤波器,其中设有对于机械振子受到与电磁场的相互作用而按照固有共振频率振动时的信号进行检测的检测电路,其特征在于:所述机械振子为阵列状配置在电磁波导上或其附近的电磁场中的梁状或线圈状的多个微机械振子。 |
地址 |
日本大阪府门真市 |