| 发明名称 |
Spatial light modulator and method of performing photolithography using the same |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1583069(A3) |
申请公布日期 |
2007.04.18 |
| 申请号 |
EP20040025093 |
申请日期 |
2004.10.21 |
| 申请人 |
AGILENT TECHNOLOGIES, INC. |
发明人 |
SCHROEDER, DALE W. |
| 分类号 |
G02B26/08;G09G3/34;G03F7/20;G09G3/36;H01L21/027 |
主分类号 |
G02B26/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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