| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR CONTROLLING POLYMERIZED TEOS BUILD-UP IN VACUUM PUMP LINES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1171644(B1) |
申请公布日期 |
2007.04.18 |
| 申请号 |
EP20000921335 |
申请日期 |
2000.02.18 |
| 申请人 |
MKS INSTRUMENTS, INC. |
发明人 |
DOZORETZ, PAUL;GU, YOUFAN |
| 分类号 |
C23C16/00;B01D5/00;C23C16/40;C23C16/44;H01L21/31 |
主分类号 |
C23C16/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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