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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR PROCESSING WAFERS
摘要
申请公布号 EP1097468(B1) 申请公布日期 2007.04.18
申请号 EP19990934169 申请日期 1999.07.21
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 DU BOIS, DALE, R.
分类号 C23C16/44;H01L21/00;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/48;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/687 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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