发明名称 |
Spatial light modulator and method of performing photolithography using the same |
摘要 |
|
申请公布号 |
EP1583068(A3) |
申请公布日期 |
2007.04.18 |
申请号 |
EP20040025092 |
申请日期 |
2004.10.21 |
申请人 |
AVAGO TECHNOLOGIES FIBER IP (SINGAPORE) PTE. LTD. |
发明人 |
SCHROEDER, DALE W. |
分类号 |
G02F1/01;G09G3/34;G02F1/1345;G03F7/20;G09G3/36;H01L21/027 |
主分类号 |
G02F1/01 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|