用于微型机电装置的热致弯曲致动器

摘要

一种热致弯曲致动器(6)，其设置有上支臂(23、25、26)和下支臂(27、28)，在横截面中，上支臂和下支臂成波纹状，以在垂直于其纵向的方向上提高抗弯曲性。支臂(23、25、26、27、28)可以彼此横向间隔开，并且在平面图中彼此不重叠，从而使所有支臂能够通过淀积单独一个支臂形成材料层来形成。

主权项

1.一种用于微型机电装置的热致动器，该致动器包括：a)支撑衬底；b)致动器延伸部分；c)至少一个细长的第一支臂，该第一支臂在第一端附着到衬底上，而在第二端附着到延伸部分上，第一支臂可以通过传导加热；d)至少一个细长的第二支臂，该第二支臂在第一端附着到衬底上，而在第二端附着到延伸部分上，第二支臂与第一支臂间隔开，所述至少一个第一支臂在使用中经历热膨胀，以向延伸部分施力，并且其中，在横截面中，第一支臂或第二支臂成波纹状，以在垂直于其纵向的方向上提高抗弯曲性。