二维水平度测量方法及其装置

摘要

本发明涉及一种测量水平度的方法和测量装置，特别涉及一种以激光为探测准直光源，通过测得光束经不同折射率介质界面光斑所产生的偏移量来实现对二维水平度的高精度测量的方法和装置。它基于经典的光折射定理，尤其是以二维PSD位敏传感器作为标靶，提高了水平度的测量精度；介质采用高折射率的液体与折射率较低的气体，使光束的折射角增大，从而提高了水平传感器的分辨率；输出方式可选择模拟量或数字信号，易与仪表或计算机设备配接。该装置结构简洁、测量数据可靠、计算结果准确，实现了二维水平度的定量检测。

主权项

1.一种二维水平度测量方法，其特征在于：它以激光为光源，光束经两种折射率不同的介质，其中至少一种介质为液体，测得折射光斑的偏移量，经数据处理得到二维水平度的数据。