光刻装置

摘要

本发明公开了一种光刻装置，其中圆形传感器通过三个板簧安装在基底台上，所述板簧围绕传感器的热轴线均匀隔开。该板簧布置成两个彼此可拆卸连接的安装部。板簧是弹性的，并允许传感器因热膨胀和收缩而相对基底台移动，但是可以确保传感器的热心不相对基底台移动。

主权项

1.一种光刻装置，包括：构造成保持基底的基底台；和通过至少一个安装件安装在所述基底台上的物件，其中所述安装件连接在所述物件和所述基底台之间，并且包括弹性材料，从而允许所述物件相对所述基底台移动。