发明名称 PIEZOELECTRIC ACTUATOR DRIVE DEVICE, ELECTRONIC DEVICE, DRIVE METHOD THEREOF, DRIVE CONTROL PROGRAM THEREOF, AND RECORDING MEDIUM CONTAINING THE PROGRAM
摘要
申请公布号 EP1737114(A4) 申请公布日期 2007.04.18
申请号 EP20050720478 申请日期 2005.03.10
申请人 SEIKO EPSON CORPORATION 发明人 KAWAGUCHI, TAKASHI;SAWADA, AKIHIRO;YAMAZAKI, YUTAKA;OKEYA, MAKOTO
分类号 H01L41/04;G04C3/00;G04C3/12;G04C17/00;H01L41/09;H02N2/00 主分类号 H01L41/04
代理机构 代理人
主权项
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