具有高效主体电晶体的窄体多闸场效电晶体

摘要

本案描述一种用于窄体多闸电晶体的场效电晶体，例如FinFET、三闸或Ω-FET。例如在氧化步骤中，安置在闸极下的通道区域转角被圆角化，以降低有关于启始通道区域转角中之导通相关的转角作用。