半导体装置之闭路电泳沈积

摘要

本发明揭示一种用于发光二极体(LED)上磷光体材料之电泳沈积(EPD)的闭路系统及方法。该系统包含与环境空气密封之一沈积室。向该处理室提供磷光体材料与溶液之一混合物，同时亦使该混合物与环境空气密封。一载体在该处理室内固持一批LED，同时该混合物接触用于磷光体沈积之该等LED的该等区域。一电压供应施加一电压于该等LED及该混合物，以使该磷光体材料可沈积在该等LED上于该等混合物接触区域处。