微电子装置及制造微电子装置方法

摘要

一种微电子装置，其包含一基板及一电晶体。该电晶体包含该基板中之一通道区域、该通道区域中之一凹槽、一第一介电层及一第二介电层。该第一介电层包含一第一介电质且沉积于该凹槽底部。该第二介电层包含一第二介电质且沉积于该凹槽侧面。该第一介电质之介电常数高于第二介电质之介电常数。一闸极系设置于该凹槽中且藉由该第一及第二介电层而与该通道区域电绝缘。