SONOS闸极结构及其形成方法

摘要

一种SONOS闸极结构，包含：一具有侧壁之闸极图案位于一基底上，其中闸极图案包括一闸极介电层及一闸极雹极；一氧化层结构位于基底上及闸极图案之侧壁，其中氧化层结构包括一相对较薄之部分位于基底上，及一相对较厚之部分位于闸极图案之侧壁；以及一捕获侧壁介电层位于邻近闸极图案之侧壁之氧化层结构上。