感应式加热阴极离子源之改善效能与延长寿命的技术

摘要

一种感应式加热阴极离子源之改善效能及延长寿命的技术。在一特殊较佳实施例中，此技术可作为一种改善离子植入机中之感应式加热阴极离子源之效能及延长其寿命的方法而实现。此方法可包括在离子植入机的维护过程中，使感应式加热阴极离子源的电弧室保持在真空状态下，其中不给此电弧室供应气体。此方法也可包括藉由给金属丝供应电流来加热感应式加热阴极离子源的阴极。此方法可更包括当电流位准为0.5~5A时，阴极相对于金属丝产生偏压，而电弧室相对于阴极不产生偏压。此方法额外还包括阻止源磁铁在电弧室内产生磁场。