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发明名称 SCHNELLHEIZENDER DURCH ERZWUNGENE KONVEKTION GESTÜTZTER OFEN
摘要
申请公布号 DE60312203(D1) 申请公布日期 2007.04.12
申请号 DE20036012203 申请日期 2003.08.27
申请人 WAFERMASTERS INC. 发明人 YOO, WOO SIK
分类号 H01L21/00;C23C16/46;C30B25/10;C30B31/12 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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