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发明名称 Poliergerät
摘要
申请公布号 DE69434678(T2) 申请公布日期 2007.04.12
申请号 DE1994634678T 申请日期 1994.09.20
申请人 EBARA CORP. 发明人 OKUMURA, KATSUYA;AOKI, RIICHIROU;YAJIMA, HIROMI;KODERA, MASAKO;MISHIMA, SHIROU;SHIGETA, ATSUSHI;HIROSE, MASAYOSHI;KIMURA, NORIO;ISHIKAWA, SEIJI
分类号 H01L21/302;B08B1/04;B24B27/00;B24B37/04;B24B37/34;B24B51/00;B24B55/12;H01L21/00;H01L21/677 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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