发明名称 method for manufacturing of semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100707538(B1) 申请公布日期 2007.04.12
申请号 KR20000050751 申请日期 2000.08.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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