| 主权项 |
1.一种探针装置,其系使探针之针尖接触待测物,用 以测量该待测物特性,其中包含: 外罩; 待测物支撑部,其系形成于该外罩之一方,用以支 撑该待侧物,并导引该针尖; 针座,其系形成于该外罩之另一方,用以固定该针 尖; 该针座,其系包含: 固定器主体; 贯穿孔,其系使该固定器主体贯穿该外罩的轴心方 向,而该探针即插入该贯穿孔; 导引孔,其系形成于该贯穿孔之该一方; 固定承座部,其系形成于该另一方,用以卡住该探 针; 内螺纹部,其系形成于该导引孔与该固定承座部之 间; 该探针,其中包括: 基轴部,其系与该导引孔嵌合; 调整螺纹部,其系形成于该探针主体之外围,用以 与该内螺纹部进行螺合; 固定元件,其系与该调整螺纹部进行螺合,并且卡 住于该固定承座部。 2.如申请专利范围第1项所述之探针装置,其中该导 引孔之特征为,其系与该内螺纹部以同圆心形成。 3.如申请专利范围第2项所述之探针装置,其中该导 引孔之特征为,其系作为该内螺纹部之下穴而形成 。 4.如申请专利范围第1项所述之探针装置,其中该固 定承座部之特征为,其座面与该内螺纹部之轴心呈 直角。 5.一种探针固着之方法,其系将探针插入针座加以 固定,该探针,其尖端有基轴部形成,而中间部分之 外围有调整螺纹部形成,并且具有与该调整螺纹部 进行螺合之固定螺帽;该针座,其内部有内螺纹部 形成,并且该内螺纹部之一端配置与该内螺纹部呈 同圆心之导引孔,另一端则配置固定承座部; 该探针固着方法,其系包含: 螺合制程,其系从该固定承座部侧,将该调整螺纹 部与该内螺纹部进行螺合; 嵌合制程,其系将该探针之基轴部与该导引孔进行 嵌合; 连结制程,其系将该固定元件卡住于该固定承座部 之中,并且加以连结。 图式简单说明: 【第1图】 有关本发明一实施例之探针装置的剖面图。 【第2图】 剖面图,系显示安装于该探针装置之针座的重要部 分及探针。 【第3图】 安装于该探针装置之针座的底面图。 【第4图】 利用该探针装置,使探针针尖接触电子元件电极的 说明图。 【第5图】 以往之探针装置的剖面图。 |
