光头动作控制装置和控制方法以及载物台装置

摘要

本发明提供一种光头动作控制装置和控制方法及载物台装置，它是在发生由偏转角引起的倾角的场合下，对多个光头和工件的多个加工点的偏移进行修正的。光头动作控制装置(31)设有：修正量运算部(44₁～44₅)、判定部(46₁～46₅)。修正量运算部44₁根据由(Y1、Y2)激光干涉仪(36、37)计测的距离(L1、L2)之差(L1－L2)，运算与偏转角相应的修正量ΔT。由判定部(46₁～46₅)判定被修正过的距离(L1±ΔT)的值是否与加工位置数据一致，在一致的场合下，输出光头(30₁～30₅)的加工信号。由此，光头(30₁～30₅)的加工定时是根据偏转角θ在时间上是被错开的，在载放于上述可动工作台(20)上的衬垫上的加工点与光头(30₁～30₅)的加工点一致的定时进行加工。

主权项

1、一种光头动作控制装置，其特征在于，使载放工件的工件支撑构件和与上述工件支撑构件相对配置的支撑多个光头的支撑构件的某一方移动，并且与上述两个构件的相对位移联动地对上述多个光头的动作进行控制，其具备，修正机构，该修正机构根据上述工件支撑构件或光头支撑构件中的处于移动侧的构件的偏转方向的倾角，对上述多个光头的动作定时进行修正。