一种耐活性氧腐蚀的新型平面线阵辐射加热器

摘要

本实用新型公开了一种耐活性氧腐蚀的新型平面线阵辐射加热器，它包括：加热丝支撑盘、加热丝和金属箔电极，加热丝支撑盘上分布有具一定几何排布规律绕线孔阵列，加热丝按照一定绕线规则穿过绕线孔阵列绕至支撑盘上，在支撑盘两端边缘对称分布有两个接线柱插孔，加热丝端线在此与金属箔电极相连形成良好电接触。本实用新型能提供高于800℃加热温度，且温场均匀。与传统加热丝型加热器相比，由于采用合理几何设计，具有最少的部件，使用及维护成本很低；与商用石墨体加热器相比，使用寿命长，且无碳污染，因此非常适宜氧化物薄膜的生长。

主权项

1、一种耐活性氧腐蚀的新型平面线阵辐射加热器，其特征在于，包括：加热丝支撑盘、加热丝和金属箔电极，加热丝支撑盘上分布有绕线孔阵列，在支撑盘两端边缘对称分布有两个接线柱插孔，所述绕线孔阵列以两个接线柱插孔中心连线中垂线为准，绕线孔在平行于中垂线方向为平行排布的孔列，且以中垂线为准左右对称；孔列与孔列之间间距以最靠近中垂线孔列开始，分别为d，2d，d，2d，……最靠近中垂线的两孔列间距为2d，总列数与d值与加热丝支撑盘大小相适配；所述加热丝等间距纵横相间地穿过加热丝支撑盘上绕线孔阵列形成加热丝单元阵列，该加热丝端线通过金属箔电极安装所述接线柱插孔上。