图案形成方法和液滴喷出装置

摘要

遮光部件由光吸收性材料构成，设置在连接激光照射的基板上的照射位置和喷嘴的直线上。遮光部件由从喷嘴板的喷嘴形成面向基板突出的凸部构成，形成包围喷嘴的外周的筒状。遮光部件的遮光高度设定为与遮光宽度和喷嘴半径的和相同的尺寸。通过遮光部件，遮挡从照射位置反射和散射的反射散射光。

主权项

1.一种图案形成方法，从液滴喷出头的喷出口对基板喷出包含图案 形成材料的液滴，使所述基板相对激光的照射位置移动，落到所述基板上 的液滴到达所述照射位置时，对所述液滴照射所述激光，形成图案， 在由所述基板向所述喷出口反射的激光到达所述喷出口之前，由设置 在连接所述照射位置和所述喷出口的直线上的遮光部件遮挡所述激光。