一种光电阴极和利用该阴极的真空紫外光电器件的制备工艺

摘要

本发明公开了一种光电阴极，由三个复合层构成，基底层由透紫基底材料构成，中层为透明导电层薄膜，其特征在于，第三层为光电发射层，它是由氧化锌的薄膜或者纳米线阵列构成。一种利用上述光电阴极的真空紫外光电器件的制备工艺，包括以下步骤：A、光电阴极的制备；B、氧化锌光电阴极成膜及性能测试，选择满足要求的阴极进行排气、封装；采用上述光电阴极的真空紫外器件的排封。该光电阴极充分利用了氧化锌的光电效应和场发射效应，解决了目前现有技术的不足之处，并且具备了许多新的特性；该制备工艺易于安排设备的使用，解决了光阴极制备程序和器件排封工艺不能分步单独进行的难题，减化工艺流程，提高生产效率。

主权项

1、一种光电阴极，由三个复合层构成，基底层由透紫基底材料构成，中层为透明导电层薄膜，其特征在于，第三层为光电发射层，它是由氧化锌的薄膜或者纳米线阵列构成。