| 发明名称 | 膜图案的形成方法以及电子设备的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明的膜图案的形成方法，通过将使功能性材料溶解或分散到溶剂中而成的功能液(L)配置到基体(P)上并干燥所述功能液(L)，来形成由所述功能性材料构成的膜图案(F)，该方法具有：在形成有所述膜图案(F)的所述基体(P)的有效区域(T<SUB>E</SUB>)和所述有效区域(T<SUB>E</SUB>)的周围的非有效区域(T1、T2、T3)形成液体容纳部(P<SUB>E</SUB>、P<SUB>D</SUB>)的工序，在形成于所述有效区域(T<SUB>E</SUB>)的所述液体容纳部(P<SUB>E</SUB>)配置所述功能液(L)的工序，和在形成于所述非有效区域(T1、T2、T3)的所述液体容纳部(P<SUB>D</SUB>)配置所述功能液(L)或所述溶剂的工序，在距离所述有效区域(TE)的中心部(C)越远的区域，在所述非有效区域(T1、T2、T3)的所述液体容纳部(P<SUB>D</SUB>)配置的所述溶剂的量越多。本发明提供一种可在基板面内形成均匀膜厚图案的膜图案的形成方法。 | ||
| 申请公布号 | CN1943879A | 申请公布日期 | 2007.04.11 |
| 申请号 | CN200610151641.2 | 申请日期 | 2006.09.07 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 酒井宽文;田中贵也 |
| 分类号 | B05D1/00(2006.01);B05C11/10(2006.01);B05C11/02(2006.01);B05D7/24(2006.01);H05B33/10(2006.01);G09F9/00(2006.01) | 主分类号 | B05D1/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 汪惠民 |
| 主权项 | 1、一种膜图案的形成方法，通过将使功能性材料溶解或分散到溶剂中而成的功能液配置到基体上并干燥所述功能液，来形成由所述功能性材料构成的膜图案，该方法具有：在形成有所述膜图案的所述基体的有效区域、以及所述有效区域周围的非有效区域形成液体容纳部的工序，在形成于所述有效区域的所述液体容纳部配置所述功能液的工序，和在形成于所述非有效区域的所述液体容纳部配置所述功能液或所述溶剂的工序；在所述非有效区域的所述液体容纳部配置的所述溶剂的量，在距离所述有效区域的中心部越远的区域就越多。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||