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发明名称 METHOD FOR FORMING PATTERN AND TREATING AGENT FOR USE THEREIN
摘要
申请公布号 EP1338923(A4) 申请公布日期 2007.04.11
申请号 EP20010978871 申请日期 2001.10.24
申请人 AZ ELECTRONIC MATERIALS USA CORP. 发明人 IJIMA, KAZUYO;TAKANO, YUSUKE;TANAKA, HATSUYUKI;FUNATO, SATORU
分类号 G03F7/38;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/11;G03F7/16;G03F7/26;H01L21/027 主分类号 G03F7/38
代理机构 代理人
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