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发明名称 CATADIOPTRIC PROJECTION OBJECTIVE
摘要
申请公布号 EP1771771(A1) 申请公布日期 2007.04.11
申请号 EP20050785351 申请日期 2005.07.08
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 SHAFER, DAVID;ULRICH, WILHELM;DODOC, AURELIAN;VON BUENAU, RUDOLF;MANN, HANS-JUERGEN;EPPLE, ALEXANDER;BEDER, SUSANNE;SINGER, WOLFGANG
分类号 G03F7/00;G02B17/00;G02B17/08 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
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