FILAMENT MEMBER AND ION SOURCE OF AN ION IMPLANTATION APPARATUS HAVING THE FILAMENT MEMBER,申请号KR20050094486-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	FILAMENT MEMBER AND ION SOURCE OF AN ION IMPLANTATION APPARATUS HAVING THE FILAMENT MEMBER
摘要
申请公布号	KR100706799(B1)	申请公布日期	2007.04.05
申请号	KR20050094486	申请日期	2005.10.07
申请人	SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.	发明人	KWON, UI HUI;KIM, TAI KYUNG;KEUM, GYEONG SU;CHUNG, WON YOUNG;CHA, KWANG HO
分类号	H01L21/265	主分类号	H01L21/265
代理机构		代理人
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