掩模传输系统四象限对准装置

摘要

本发明掩模传输系统四象限对准装置，可以实现掩模板位置与姿态信息的测量，据此通过夹持掩模板的掩模传输机械手调整掩模板，达到所期望的位置和姿态。该装置包括两个激光器、标有两个米字形对准标记的掩模板、两个滤光片、接收米字形光斑的两个四象限光电探测器以及与之连接的信号调理电路、A/D转换器和完成预对准的掩模传输机械手和驱动机械手在平面中沿x、y方向平动及绕z轴旋转的驱动电机、测量掩模传输机械手x、y方向位置的光栅尺、控制器等。本发明装置结构简单、紧凑、对准精度高。

主权项

1、一种掩模传输系统四象限对准装置，含有两个激光器、两个四象限探测器、一控制器，用于光刻机中掩模板的对准；其特征在于，还包括一掩模板、一机械手和机械手传动系统、两滤光片，其中，掩模板、机械手位于激光器和四象限探测器之间，都水平设置，掩模板固设于机械手上，相对于两激光器和两四象限探测器的表面距离固定，掩模板上设有两个透光的米字形对准标记，米字形对准标记周围不透光；两滤光片分别水平设置于两个透光的米字形对准标记下方，位于掩模板与四象限探测器之间；两激光器出射光束光轴间的距离、两四象限探测器中心的距离、两米字形对准标记中心的距离均相等；两个激光器发出的光束，分别垂直穿过掩模板上的两个米字形对准标记，再分别穿过两滤光片，在四象限探测器光敏面形成米字形光斑，通过机械手传动系统和机械手，调整掩模板，使产生的两个米字形光斑中心与两个四象限探测器光敏面中心分别对中，即达到所期望的掩模板位置和姿态。