工件加工系统

摘要

一种传输系统，可用于在低压或真空条件下进行工件加工的装置，如对硅晶片注入的离子注入机。封闭体形成了低压区，工件可在低压区的工件加工台进行加工。两层的多工件的隔离加载锁定件将来自高压区的工件传输到低压区进行加工，在所述加工完成后返回所述高压区。第一机器人将低压区内的工件从加载锁定件传输到低压区的加工台。位于低压区外的多个其他机器人，加工前从所述工件源传输工件到两层工件隔离加载锁定件，加工后从两层工件隔离加载锁定件传输工件到工件目的位置。

主权项

1.一种工件传输系统，可用于低压下加工工件的装置，所述系统包括：a)第一隔离加载锁定件，用于从高压区传输工件到低压区，和返回所述高压区；b)第二隔离加载锁定件，位于第一工件隔离加载锁定件附近，用于从高压区传输工件到低压区，和返回所述高压区；c)工件加工台，用于在低压下加工工件；和d)机器人，可从所述第一和第二工件隔离加载锁定件其中一个传输工件到工件加工台。