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发明名称
ELLIPSOMETRY DEVICE PROVIDED WITH A RESONANCE PLATFORM
摘要
申请公布号
EP1769229(A1)
申请公布日期
2007.04.04
申请号
EP20050772604
申请日期
2005.07.18
申请人
OC OERLIKON BALZERS AG
发明人
WIKI, MAX;EDLINGER, JOHANNES;VAUPEL, MATTHIAS;EING, ANDREAS
分类号
G01N21/21;G01N21/55
主分类号
G01N21/21
代理机构
代理人
主权项
地址
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