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发明名称 ROTATING SUSCEPTOR AND METHOD OF PROCESSING SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP1415017(B1) 申请公布日期 2007.04.04
申请号 EP20020746957 申请日期 2002.07.09
申请人 MOORE EPITAXIAL, INC. 发明人 NISHIKAWA, KATSUHITO
分类号 C23C16/458;C30B25/12 主分类号 C23C16/458
代理机构 代理人
主权项
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