一种热处理高温炉控制装置

摘要

本实用新型公开一种热处理高温炉的控制装置，由温度传感器、信号放大电路、接口电路、计算机、触发电路、加热元件组成，温度传感器设于热处理高温炉内，温度传感器的输出与信号放大电路的输入联接，信号放大电路的输出通过接口电路与计算机联接，计算机的输出通过接口电路与触发电路联接，触发电路的输出与加热元件的输入联接。本实用新型可用于硅及其化合物半导体材料离子注入后的退火，硅化物的形成等方面，也可用于铁电薄膜以及各种半导体材料制备工艺后期的热处理，可以缩短材料的制备时间，避免材料中易挥发成分的挥发而造成的组分偏离，制备的材料结构均匀、性能优良，并能与IC集成工艺兼容，因而在材料制备领域具有广阔的应用前景。

主权项

1.一种热处理高温炉的控制装置，其特征在于：由温度传感器、信号放大电路、接口电路、计算机、触发电路、加热元件组成，温度传感器设于热处理高温炉内，温度传感器的输出与信号放大电路的输入联接，信号放大电路的输出通过接口电路与计算机联接，计算机的输出通过接口电路与触发电路联接，触发电路的输出与加热元件的输入联接。