晶圆包装

摘要

本发明提供一种晶圆包装，其包含有一匣盒、至少二海绵、至少二中空支撑垫片以及复数个晶圆。其中，海绵平均放置于匣盒内之底层及上盖，中空支撑垫片置于底层及上盖之海绵间，而各晶圆设置于相邻二中空支撑垫片之间，且各晶圆之边界非完整晶粒区与相邻二中空支撑垫片接触。