流量范围可变型流量控制装置

摘要

本发明系可藉由1台流量控制装置进行流量域更广之流体的高精度流量控制，藉此达成流量控制装置小型化及设备费用削减之目的。本发明系于使用孔口上游侧压力P1及孔口下游侧压力P2，将流通于孔口8之流体流量设为Qc＝KP1(K为比例常数)或Qc＝KP2m(P1–P2)n(K为比例常数，m与n为常数)进行运算之压力式流量控制装置中，将该压力式流量控制装置之控制阀的下游侧与流体供给用管路之间的流体通路设为至少2个以上并联状流体通路，同时分别使朝向前述各并联状流体通路之流体流量特性不同的孔口介于其中，在小流量域之流体的流量控制方面系使前述小流量域之流体朝一方之孔口流通，此外在大流量域之流体的流量控制方面系使前述大流量域之流体切换而朝另一方之孔口流通。