微波电浆激发装置

摘要

一种微波电浆激发装置，藉由适当设计将单微波源转为多微波源输出至产生电浆之电浆反应腔体，微波电浆激发装置包含微波源、功率分配结构及电浆反应腔体，功率分配结构连接微波源及电浆反应腔体，将微波源所提供之微波功率均匀分布至电浆反应腔体，使微波能量达到均匀及大面积的分布。