微阵列探针的制作方法

摘要

本发明揭示一种微阵列探针的的制作方法。该方法包含下列步骤：放置一遮罩于一能量束之路径上，遮罩具有复数开口；能量束个别地经由开口投射至基底，使基底中形成复数沟槽，且复数沟槽与前述复数开口之间分别形成一特定的空间关系；填入一成形材料于基底表面上以及位于基底中的复数沟槽；以及移除基底，以形成具有基层的复数探针，且复数探针位于该基层上。其中特定的空间关系指遮罩具有的复数开口的尺寸与基底中复数沟槽的形状、数量相关，并且于投射能量束至基底前，调整能量束之参数配合复数开口的尺寸，决定复数探针之形状。