灰色调遮罩用毛胚及使用该毛胚之灰色调遮罩及其制造方法

摘要

本发明系关于一种灰色调遮罩用毛胚及使用该毛胚之灰色调遮罩及其制造方法；也就是说，本发明系在具有由遮光部、开口部和半透光部所构成之图案之灰色调遮罩用毛胚，具有直接或间接地附着在透明基板表面上之遮光膜及半透光膜，构成遮光膜及半透光膜之金属成分之组成呈不同。此外，灰色调遮罩之制造方法系由使用具有相同蚀刻速度之第1蚀刻液，来蚀刻遮光膜及半透光膜，并且，藉由并无蚀刻半透光膜且仅呈选择性地蚀刻遮光膜之第2蚀刻液，来进行半蚀刻所构成。