发明名称 |
用于将脆材料构成的平坦工作物利用雷射作多次切断的装置 |
摘要 |
一种用于将脆材料构成的平坦工作物利用雷射作多次切断的装置,用雷射特别沿相同方向的切断线轮流地沿正反方向引起热机械应力而使时间有效利用地作切断,其方法系使该装置具有二个冷媒喷嘴(6.1)(6.2),它们选择性地将冷媒喷向工作物,且宜与形成雷射光束的光学手段(10)耦合,支承成可能雷射头(1)的轴转动。 |
申请公布号 |
TW200711776 |
申请公布日期 |
2007.04.01 |
申请号 |
TW095117247 |
申请日期 |
2006.05.16 |
申请人 |
耶恩光学自动化技术股份有限公司 |
发明人 |
史帝凡 亚克;罗尼 乌尔曼;约根 怀瑟 |
分类号 |
B23K26/42(2006.01);B23K26/40(2006.01);H01L21/301(2006.01) |
主分类号 |
B23K26/42(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
桂齐恒;阎启泰 |
主权项 |
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地址 |
德国 |