电浆处理方法及电浆处理设备

摘要

尽可能抑制昂贵的氪气、氙气消耗量之同时，亦降低电浆处理时对被处理物造成之损坏。使用稀有气体对基板进行电浆处理时，使用2种以上不同种类之稀有气体。稀有气体中之一种系为廉价之氩气，其他气体则为与电子碰撞剖面积较氩气为大之氪气及氙气之任一种，或为氪气以及氙气，尽可能于抑制昂贵的氪气、氙气消耗量之同时，亦降低电浆处理时对被处理物造成之损坏。