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发明名称 ELECTROSTATIC CHUCK AND PLASMA PROCESSING APPARATUS USING SAME
摘要
申请公布号 KR20070035172(A) 申请公布日期 2007.03.30
申请号 KR20050089720 申请日期 2005.09.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;H01L21/3065 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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