MEASURING APPARATUS COMPRISING A SENSING HEAD FOR DETERMINING THE POSITION OF A PRIMARY PART ON A SECONDARY PART, AND METHOD FOR DETERMINING THE POSITION OF A PRIMARY PART ON A SECONDARY PART BY MEANS OF A SENSING HEAD

摘要

Die Erfindung betrifft eine Messvorrichtung mit einem Messkopf (15) zur Positionsbestimmung eines Primärteils (27) auf einem Sekundärteil, wobei der Messkopf (15) fest mit einem Primärteil (27) verbunden bzw. in dieses integriert ist, das Primärteil (27) und das Sekundärteil einen Linearmotor (30) bilden, das Sekundärteil als Zahnstange (16) ausgebildet ist, die Zahnstange (16) zumindest ferromagnetisches Material aufweist und in einer Vorzugsrichtung (13) vorzugsweise äquidistante Zähne (18) aufweist, die zumindest ferromagnetisches Material aufweisen, der Messkopf (15) in Vorzugsrichtung (13) und entgegengesetzt dazu bewegbar ist, sich zwischen dem Messkopf (15) und der Zahnstange (16) ein Luftspalt befindet, und der Messkopf (15) zumindest einen Sensor (1-12,19,31) aufweist, mittels dem Magnetfelder zwecks Positionsbestimmung messbar sind.